埃瑞微半导体是一家半导体前道量检测设备研发商，专注于集成电路前道工艺量检测设备研发及制造的科技创新型企业，致力于为光刻工艺的大批量生产提供以套刻误差为代表的量测设备及其他缺陷检测设备。近日，埃瑞微半导体完成Pre-A轮融资，卓源亚洲、金雨茂物联合投资。