美国自由电子激光器研发商xLight获得1.5亿美元C轮融资

xLight是一家极紫外(EUV)自由电子激光器(FEL)研发公司,致力于打造强大的自由电子激光器 (FEL),以取代 LPP 并彻底改变先进的半导体制造业。近日,xLight获得1.5亿美元C轮融资。

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