科耐激光业务聚焦于超快紫外和深紫外激光器(波长:355nm/266nm/213nm/193nm)的研发和生产,为半导体晶圆缺陷检测(颗粒度检测、明暗场检测等)或掩膜版检测设备提供深紫外光源。近日,科耐激光完成新一轮融资。本轮融资由中芯聚源领投,十月资本、海汇资本、江夏科投、尚玉智投、力中投资等机构跟投。
科耐激光业务聚焦于超快紫外和深紫外激光器(波长:355nm/266nm/213nm/193nm)的研发和生产,为半导体晶圆缺陷检测(颗粒度检测、明暗场检测等)或掩膜版检测设备提供深紫外光源。近日,科耐激光完成新一轮融资。本轮融资由中芯聚源领投,十月资本、海汇资本、江夏科投、尚玉智投、力中投资等机构跟投。

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